簡介
PECVD工藝中由于等離子體中高速運動的電子撞擊到中性的反應氣體分子，就會使中性反應氣體分子變成碎片或處于激活的狀態容易發生反應；借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜；具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點；
1200℃高真空PECVD系統通過滑動爐體來實現快速的升降溫，配置不同的真空系統來達到理想的真空度；同時通過多路高精度質量流量計控制不同氣體。 主要應用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備，生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復合薄膜等，也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。同時上海煜志良好的售后服務體系，使得該產品的整體評價遠超同行業標準。
主要技術參數
爐體結構 | 整機采用SUS304不銹鋼材質，流線型外觀，斷熱式結構； 日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好； 爐子底部裝有***對滑軌，移動平穩； 爐子可以手動從***端滑向另***端，實現快速的加熱和冷卻； 爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料 |
尺寸重量 | 1730*660*1130mm；凈重：210kg |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW |
爐管 | 高純石英管，高溫下化學穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數極小； 尺寸：Φ60*1300mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空； ***個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷； 可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐； 包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統 | 加熱元件采用康泰爾發熱絲，表面負荷高、經久耐用； 加熱區長度：300mm 恒溫區長度：150mm； 工作溫度：≤1150℃； 溫度：1200℃； 升溫速率：10℃/min |
溫控系統 | 日本富士溫控儀表，64段控溫程序，可分步、分段 |
混氣系統 | 三路質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制；內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥；管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套；每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥；通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量流量規格：0~1000sccm（可選）； 流量精度：±1.5% |
高真空系統 | 采用雙***旋片真空泵+分子泵，極限真空可達4.0*10^-4Pa； 復合真空計，配置電阻規+電離規 抽速：110L/S； 冷卻：風冷； 電源:AC220V 50/60Hz |
射頻電源系統 | 輸出功率:0-300W；功率穩定度：±0.1%；射頻電源頻率:13.56MHz 穩定性±0.005%；反向功率:120W；射頻電源電子輸出端口:UHF； 冷卻:風冷； 電源:AC187-253V 50/60Hz |
可選配件 | 各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件 |
保修卡 | 整機***年保修（相關耗材除外） |
可根據客戶要求定制！
注：該儀器未取得中華人民共和***醫療器械注冊證，不可用于臨床診斷或治療等相關用途
滬公網安備31011502016460號
