TESCAN S9000 新***代超高分辨場發(fā)射掃描電鏡
TESCAN S9000 是***款功能極其強大的分析儀器，適用于納米材料的形貌表征以及微觀分析。S9000 配置 Triglav? 型 SEM 鏡筒，具有超高的分辨率，在低電壓下尤為明顯；鏡筒內(nèi)探測器系統(tǒng)具有電子信號過濾能力，可以獲得更好的圖像襯度和表面靈敏度，非常適用于不導電樣品的成像，如陶瓷、無涂層生物樣品，以及在半導體光敏樣品。此外，S9000 配備肖特基場發(fā)射電子槍，能夠提供高達 400 nA 的束流，結(jié)合 Triglav? 型 SEM 鏡筒所具備的出色納米尺度分析性能和高穩(wěn)定性，為微分析和長耗時樣品的分析應用提供了*佳條件。
TESCAN S9000 使用了全新的 TESCAN Essence? 軟件，用戶界面友好，可以滿足各類應用需求，可定制的布局以及自動化的樣品制備功能，限度地提升了操作便捷性和工作效率。
S9000 FE-SEM 主要優(yōu)勢：
* 強大的微觀形貌觀測和微分析能力
TESCAN 的 Triglav? 型 SEM 鏡筒具有 TriLens? 三物鏡系統(tǒng) ，適用領域更加多樣化。UH-resolution 物鏡提供的超高分辨率非常適合于形貌細節(jié)觀察，使研究人員能夠更好的分析納米***樣品。全新的高分辨 Analytical 物鏡可實現(xiàn)無漏磁成像，是磁性樣品觀察和分析（EDS, EBSD）的理想選擇。第三個物鏡可以實現(xiàn)多種觀測模式切換，新***代 Triglav? 鏡筒還具有自適應束斑優(yōu)化功能，可以提高了大束流下的分辨率，這***特點有利于更好的進行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析。
* 提供*佳的分析條件
肖特基場發(fā)射電子槍能夠產(chǎn)生高達 400 nA 的電子束流，電壓也可以快速改變并保證在所有的分析應用下都能夠獲得良好的信號。
* 讓復雜的應用變的前所未有的簡單
新***代 TESCAN Essence? 是***款簡化的、支持多用戶的軟件，它的布局管理器可以幫助用戶快速、方便地訪問所有主要功能。軟件界面可自定義，以地適應特定的應用方向，符合不同用戶的使用偏好。軟件的各種功能模塊、向?qū)Ш蛻梅桨甘沟脽o論是入門***用戶或是專******用戶都能夠輕松順暢的掌握掃描電鏡的操作，從而提升樣品的處理速度，提高工作效率。
* 可以獲得不同襯度圖像，程度洞察樣品
TESCAN S9000 配備 TriBE? 探測器系統(tǒng)：包含三個背散射電子探測器，可以根據(jù)角度和能量的差異選擇性地收集信號。Mid-Angle BSE 和 In-Beam f-BSE 探測器位于鏡筒內(nèi)，可以接收中角度和軸向的背散射電子，而樣品室內(nèi)背散射電子探測器則用于接收廣角背散射電子。同時，S9000 還配備 TriSE? 探測器系統(tǒng)：共有三個二次電子探測器，可在所有工作模式下以*佳方式獲取二次電子：In-Beam SE 探測器可以在非常短的工作距離下接收二次電子；SE（BDM）為電子束減速模式下的二次電子探測器，可以提供*佳的分辨率；樣品室內(nèi)的二次電子探測器則能提供*佳形貌襯度的圖像。
S9000 FE-SEM 突出特點：
ü 的電子信號選擇檢測功能，幫助用戶獲得更好的表面靈敏度和襯度
ü Xe 等離子鏡筒可提供高達 2 μA 的超高離子束流，并保持束斑質(zhì)量
ü 超高加工效率，在 30 keV 下視場范圍超過 1 mm
ü 自適應束斑優(yōu)化功能，有利于更好的進行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析
S9000 應用案例：
圖1. 樣品為鋁箔，著路能量為 500 eV，可以清晰的觀測到表面形貌細節(jié)
圖2. 薄的生物標本，STEM 探測器，可同步采集 BF, DF 和 HADF 信號，提供超微結(jié)構(gòu)信息
圖3. OLED 顯示單元中 Al contacts 及 SiO / SiN
圖4. EBSD mapping，樣品為不銹鋼，采用分析模式，加速電壓為 20 kV，探針電流達 20 nA,，像素大小為 100 nm
TESCAN 發(fā)源于全球的電鏡制造基地-捷克 Brno，是電子顯微鏡及聚焦離子束系統(tǒng)領域全球知名的跨***公司，有超過 60 年的電子顯微鏡研發(fā)和制造歷史，是掃描電子顯微鏡與拉曼光譜儀聯(lián)用技術、聚焦離子束與飛行時間質(zhì)譜儀聯(lián)用技術以及氙等離子聚焦離子束技術的開拓者和技術***。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
