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INFICON MPG400/MPG401 冷陰極皮拉尼復合真空規

價  格:詢價

產  地:美國更新時間:2020-10-27 10:05

品  牌:Inficon型  號:INFICON

狀  態:正常點擊量:2977

400-006-7520
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上海非利加實業有限公司

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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INFICON復合真空規 (冷陰極和皮拉尼的復合)

型號:MPG400和MPG401,

INFICON的冷陰極和皮拉尼的復合真空規 MPG400和MPG401, 測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測量方式組合在***個具有對數模擬輸出的小型單元內,大大地降低了安裝,設置和集成的復雜性.

優點:

復合真空規—冷陰極與皮拉尼

寬的壓強測量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓

無可燒毀的燈絲

卓越的引燃功能

易清洗

FPM或金屬密封的饋入件

高壓加上時LED指示燈亮

對數模擬輸出訊號

應用:

高真空壓強監測

蒸發和濺射系統的壓強測量

***般真空測量和控制,從中至高真空范圍


產品參數

技術參數:


 測量范圍 (空氣, N2)

毫巴(乇)

5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)

精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴

% 讀值

≈±30%

重復性1 x 10-8 … 100毫巴

% 讀值

≈±5%

安裝方向

 

任何

允許壓強

巴(絕對)

≤10 (限于惰性氣體)

允許溫度

工作 (室溫)

貯存 

烘烤 1)

燈絲溫度 (皮拉尼)

 

°C

°C

°C

°C

 

+5 … +55

–40 … +65

150

120

電源電壓

 

 

在規管上

V DC

+15 … +30

在供電單元上, 最大電纜長度 2)

V DC

+16 … +30

紋波

Vpp

≤1

功耗

W

≤2

連接保險絲

AT

≤1

輸出訊號(測量訊號)

 

 

電壓范圍

V

0 … +10.5

測量范圍

V

+1.82 … +8.6

電壓與壓強的關系

 

對數, 0.6 V/量級

誤差訊號

V

<0.5 (無電源)

 

V

>9.5 (皮拉尼傳感器, 燈絲斷裂)

輸出阻抗

?

2 x 10

最小負載阻抗

k?

10, 短路保護

響應時間      p > 10-6 毫巴

毫秒

<10

p = 10-8 毫巴

毫秒

≈1000

規管標識

k?

85, 參考電源公共點

狀態

 

 

僅皮拉尼模式

V

0 (低)

復合皮拉尼 / 冷陰極模式

V

15 … 30 (高)

指示燈

LED 綠色

高壓on

電氣連接

 

FCC 68 設備連接件, 8腳,凹型

傳感器電纜

 

8芯,加屏蔽

電纜長度

≤50 (8 x 0.14 毫米2)

工作電壓

千伏

≤3.3

工作電流

微安

≤500

暴露于真空的材料 

 

不銹鋼, Al2O3, FPM75,    Mo, Ni, Au, W

不銹鋼, Al2O3, Ag, Cu, Sn               Mo, Ni, Au, W

內容積

厘米3

≈20

重量

 

 

DN 25 ISO-KF

≈700 ≈730

DN 40 ISO-KF

≈720 ≈750

DN 40 CF-F

≈980 ≈1010

保護級別

 

IP 40

標準

 

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1



產品介紹



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